制冷無油真空泵確定真空度
在確定了工藝要求的真空度的基礎上檢查真空泵系統的真空度，因為系統的真空度決定了系統的工作真空度。一般來講，系統的真空度比系統的工作真空度低20%，比前級泵的真空度低50%。
被抽氣體種類與抽氣量
檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因為如果被抽氣體種類與泵內液體發生反應，泵系統將被污染。同時考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產生的氣體量。
真空容積
檢查確定達到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏。
考慮達到要求真空度后在工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。(制冷無油真空泵