微型無油真空泵即微型隔膜泵,是指具備一進一出的抽氣嘴、排氣嘴各一個，并且在進口處能夠持續形成真空或負壓；排氣嘴處形成微正壓；工作介質主要為氣體，體積小巧的一種儀器。
    微型無油真空泵的基本原理：電機的圓周運動，通過機械裝置使泵內部的隔膜做往復式運動，從而對固定容積的泵腔內的空氣進行壓縮、拉伸形成真空（負壓），在泵抽氣口處與外界大氣壓產生壓力差，在壓力差的作用下，將氣體壓（吸）入泵腔，再從排氣口排出。隨著儀器儀表工業的蓬勃發展，體積小巧、無油的微型真空泵、微型氣泵得到越來越廣泛的使用。
    微型泵的可靠性問題。 根據微型無油真空泵出故障后產生后果的嚴重性而定，根據自己的要求。品的平均無故障連續運行時間都大于1000小時，有的高到數千小時。特別注意，這項參數是在滿負荷、不間斷的運行狀態下測定的，是惡劣的工況，如果實際使用不是滿載或連續運行，該數值會高一些，高多少視泵的工況而定。