無油真空泵的工作原理和一般容積泵是相同的，由定子、轉子、旋片、缸體、電機等主要零件組合而成。帶有旋片的轉子，偏心地安裝在定缸里面，當轉子高速旋轉的時候，轉子槽內的四個徑向滑動旋片將泵腔分隔成四個工作室，由于離心力的作用，旋片緊貼在缸壁內，把定子進排出口分離開，周而復始地運轉，進行變容，再將吸入氣體，從排氣口中排出，從而達到抽氣目的。
    它具有結構簡單、操作容易、維護方便以及等優點。無油真空泵的很好，是抽真空、壓縮兩用真空泵，是一種應用范圍非常廣泛的基本設備。