1.無油真空泵殼外部的整理，要在切斷電源的情況下，用枯燥柔軟的抹布整理機外部的塵埃污垢，每月至少整理一次。
2.進氣過濾的清洗，過濾消聲器過濾棉的清洗很重要，它直接影響了真空泵的流量和運用壽命。頻率為一個月一次，在整理之前，先將消聲器擰下，然后取出過濾棉，用水清沖洗潔凈之后，晾干在進行安裝運用。如果過濾棉運用時間過久，已經無法清洗潔凈，就要替換過濾網。
3.無油真空泵在作業工作時，提前將底座和減震腳固定螺栓擰緊，盡量放在通風潔凈的當地，并且不要觸碰機上任何元件。