無油真空泵，一般都是通過容積變化，在體積大的時候吸入空氣，在體積變小時(壓力變大)排出空氣，容積變化是靠著活動的機械部件來實現的，要求有很小的間隙并且有很高的精度。其中無油真空泵具備的特點，便是不返油，對被抽空間沒有油蒸汽污染，不噴油，沒有油蒸汽從泵口排出，不污染環境，屬于類產品，因此發展前景很好，被稱為二十一世紀“綠色真空泵”。