為減少無油真空泵的零件磨損，延長它的使用壽命，那么就對泵進行日常的維護保養。
先，是要檢查并調整曲軸箱內油位在正常位置，其次是檢查并解決漏氣、漏水、漏電現象。然后再檢查連桿大頭瓦部分面有無間隙增大的傾向。然后再檢查并調整三角皮帶的松緊至正常。保持無油真空泵的清潔，以及氣閥、氣缸等部件過流部位無污垢、積液、積灰現象。如果說，在使用過程中，發現無油真空泵過熱，有異常聲音等異常情況時應及時停機檢查。