當無油真空泵在工作的時候出現了故障的情況，那么可以采用以下幾點，來對它進行維修。
1.先在進行維修之前，準備好檢測手段。
2.判斷故障，確診故障。判斷準，可省事。確診要記得驗證。
3.排除故障，先簡后繁，先易后難。無須拆卸的不拆。無油真空泵機組以減少由于缺少工具和操作不當引起新的損傷，減少變化和跑合運轉時間。一般的說，拼接式轉子是不可拆卸的，否則形位公差就不保，轉子就報廢了。
4.運用了有毒有害、有腐蝕性物質的無油真空泵，應請用戶先行清洗，并告知的防護措施，以保障維修人員的。