無油真空泵的維修以及清洗難免需要用到拆卸工藝，對于這類設備的拆卸工藝。用戶切不可掉以輕心!在更換無油真空泵前，先要將無油真空泵停機，以免造成介質泄露，停止運行時，應先緩慢關閉出口管路閘閥，再關閉電源，停止電機運轉。其次，再關閉進出口壓力計，在灌注情況時還還要關閉吸入管路閘閥;若環境溫度低于液體凝固時，要放凈泵內的液體，以防凍裂，若輸送介質會沉淀、結晶，使用后應及時清洗。將無油真空泵的附近清理干凈，把多余的雜物及影響拆卸的物體移開，便可以直接進行拆卸了。