一般來說，旋片式真空泵可以在一個大氣壓的起始壓強下開始工作。起動以后，隨著抽氣時間的增加，被抽容器的真空度提高，而真空泵的實際抽速則逐漸下降，達到時，真空泵的抽速為零。旋片式真空泵其實實際抽速小于幾何抽速。在抽氣過程中，實際抽速之所以不斷降低。除了管道流阻、真空泵油內泄等因素外，主要是由于油膜間隙的回氣通道和油蒸汽的返流，而其中的油蒸汽返流是造成抽速大幅度下降的主要根源。由于存在返流這種嚴重的“內耗”，使低壓強下抽速的提高受到限制。