無油真空泵在抽真空過程中之所以能夠保證清潔和沒有污染，主要依靠其的設計和制造工藝。無油真空泵內部沒有使用油或其他潤滑劑進行潤滑。這意味著在泵運行時不會產生油霧或油氣，從而避兔了油污染。無油真空泵通常使用耐腐蝕、損的材料制造,如不銹鋼、陶瓷等。這些材料可以抵抗氣體和顆粒物的侵蝕，確保泵內部的清潔。無油真空泵在生產過程中，通常需要經過多道清洗和檢測工序,以確保泵的清潔度。例如，所有零件在組裝前都需要進行嚴格的清洗，確保沒有殘留物。良好的密封性能可以防止外部污染物進入泵內。無油真空泵通常采用機械密封或氣密封等密封方式，以增強其密封性能。一些無油真空泵會配備過濾器，用于過濾掉被抽氣體中的顆粒物和微量油分。這種過濾器可以進一步降低污染風。
總之，無油真空泵通過上述設計和制造工藝確保了在抽真空過程中的清潔和沒有污染。這使得它們特別適合在需要保持高度清潔的環境中使用，如食品加工、制藥和實驗室等領域。