活塞旋片式真空泵主要由泵體、旋片、偏心活塞、排氣閥、油封等部件組成。泵腔內，旋片與泵腔內壁及偏心活塞之間形成多個密封空間。旋片由彈性材料制成，能夠緊密貼合泵腔內壁及活塞表面，實現密封。當泵開始工作時，偏心活塞在電機驅動下旋轉，旋片隨之在泵腔內做往復運動。在吸氣階段，旋片與泵腔內壁之間的密封空間逐漸擴大,形成低壓區域。外界氣體通過進氣口進入泵腔被旋片引導至低壓區域。隨著偏心活塞的繼續旋轉，旋片與泵腔內壁之間的密封空間逐漸宿小，對吸入的氣體進行壓縮。當壓縮空間縮小到程度時，氣體壓力超過排車氣閥的開啟壓力,排氣閥打開壓縮后的氣體通過排氣閥排出泵腔。密封性是真空泵性能的關鍵。旋片與泵腔內壁及偏心活塞之間的緊密貼合保證了良好的密封效果。同時，泵臍內填充的潤滑油不僅能夠潤滑旋片和活塞，減少磨損，還能起到密封作用，防止氣體泄漏。封則位于泵的輸入輸出端口，防止潤滑油外泄。雙級活塞旋片式真空泵在結構上采用兩級串聯設計。級泵腔負責初步抽氣，將氣體壓縮至程度后送入二級泵腔進行進一步壓縮和排氣。這種設計能夠顯著提高泵的抽氣速度和真空度。